Example image of eyePlorer eyePlorer-Ergebnisse für 'Fotolithografie (Halbleitertechnik)': Belichtung (Fotografie) Lithografie Halbleitertechnik Mikrosystemtechnik Fotolack Fotomaske Rotationsbeschichtung Substrat (Materialwissenschaft) Planarität Silicium Wafer Entwicklung (Fotografie) Ätzen LIGA Integrierter Schaltkreis Justierung Technologie Mikroprozessor Mooresches Gesetz Licht Wellenlänge Projektion (Optik) Auflösungsvermögen Excimerlaser Calciumfluorid Quarz Immersion (Mikroskopie) Meter Strukturgröße Beugung (Physik) Piezoelektrizität Stepper (Halbleiterindustrie) Schärfentiefe SU-8 Anisotropie Aspektverhältnis (Strukturierung) Ionendünnung Plasma-unterstütztes Ätzen Brechzahl Immersion (Physik) Reinstwasser Spiegellinsenobjektiv Elektrisches Bauelement EUV-Lithografie Röntgenstrahlung Synchrotronstrahlung Berliner Elektronenspeicherring-Gesellschaft für Synchrotronstrahlung Fraunhofer-Gesellschaft Forschungszentrum Karlsruhe Korpuskularstrahlen
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